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2000年首期投资800万元开始进行“大直径高品质蓝宝石单晶基片的生产”的研究开发工作。经过近3年的努力,在蓝宝石单晶生长工艺技术及生长炉设备上,取得了突破性进展,自主创新研发成功了具有自主知识产权、带搅拌的感应加热坩埚下降法单晶生长技术设备MCGE型多用途单晶生长炉(已申请专利)。利用这种技术率先在国内完成了生长直径2英寸、3英寸、4英寸,且无气泡、晶界等晶体缺陷的高质量蓝宝石晶棒的中试生产,实现了年生产直径2~4英寸蓝宝石单晶基片15万片的生产能力,该技术与传统的下降法单晶生长技术相比,生长工艺稳定,生产成本低、成品率高(达90%),蓝宝石生产工艺技术达到国内先进水平。
单位:云南玉溪蓝晶科技有限责任公司
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